Конфокальный профилометр Leica DCM8

Leica DCM8 - конфокальный 3D профилометр  Область применения: Метрология поверхности.  Микроскоп Leica DCM8 предназначен для исследования топографии поверхности в конфокальном и интерферометрическом режимах с построением моделей и измерений на сканируемых поверхностях.

Наиболее часто используется для измерения шероховатостей и в микроэлектронике с разрешением по вертикали до 1 нм. Использование конфокальной технологии позволяет быстро и точно осуществлять профилометрию поверхностей сложной формы или с крутыми наклонами до 70° без порчи образца. Преимущественно используется с моторизованными осями X, Y, Z и антивибрационным столиком.

Высокоточный анализ поверхностей имеет большое значение в промышленности и науке в целях обеспечения оптимальных характеристик материалов и компонентов. Существуют однако, сложные аспекты: поверхности могут состоять из сложных структур с очень покатыми участками, что требует горизонтального разрешения в несколько микрон, или же резкие микроскопические пики и впадины, что требует разрешения по вертикали в субнанометровом диапазоне. И если высокое горизонтальное разрешение обеспечивается конфокальной микроскопией, для достижения требуемого разрешения по вертикали в субнанометровом диапазоне необходима интерферометрия. 

Преимущества: 

• Интерферометрия высокой четкости с оптимальным разрешением по вертикали до 0.1 нм; 
• Три метода измерения толстых и тонких пленок; 
• Четыре светодиода, позволяющие получать цветные изображения в палитре RGB: синий (460 нм), зеленый (530 нм), красный (630 нм) и белый (центральная длина волны 550 нм). 

Общие характеристики: 

• Принцип измерения: бесконтактная трехмерная двухъядерная оптическая профилометрия (конфокальная регистрация и интероферометрия). 

Функции: 

• Получение изображений с высоким разрешением, измерение рельефов с высоким разрешением в 3D, измерение профилей, координат, толщины, шероховатости, объема, поверхности, структура, спектральный анализ, колориметрия и т.п. 

Режимы контрастирования: 

• HD конфокальный; 
• HD интерферометрия (PSI, ePSI, VSI); 
• HD светлопольный цветной, светлопольный, темнопольный; 
• конфокальный HD RGB в реальном времени. 

Высота образца: 

• 40 мм в стандартной конфигурации; 
• до 150 мм с регулируемой колонкой; 
• по требованию большая высота образца. 

Объективы: 

• от 1.25x до 150x с конфокальным, светлопольным и темнопольным режимами; 
• от 5x до 50x в режиме интерферометрии. 

Диапазон перемещения столика (XYZ): 

• по вертикали: z = 40 мм; 
• в поперечном направлении: xy = 100x75 мм (в стандартном исполнении) или до 300x300 мм; 
• различные столики больших размеров. 

Диапазон сканирования по вертикали: 

• конфокальный режим: 40 мм; 
• PSI: 20 мкм; 
• ePSI: 100 мкм; 
• VSI: 10 мм. 

Подсветка: светодиодные источники света: 

• красный: 630 нм; 
• зеленый: 530 нм;  
• синий: 460 нм; 
• белый: центральная длина волны 550 нм. 

Отражающая способность образца: 0.1-100 %. Размеры: (ДxШxВ) 573x390x569 мм. Масса: 48 кг.